R-2-2200-2024-0180

84869099

半导体设备专用管路组件

Specified Weldment Kits for Semiconductor Equipments

品名：半导体设备专用管路组件。品牌：无品牌，型号：0051-78758，材质：不锈钢316L/304，加工工艺：不锈钢管件经加工，焊接接头。结构：由多个接口、管道组成，可同时连接气相沉积设备中不同的部件。用途：专用于半导体气相沉积设备当中。功能：本商品安装于气相沉积设备内部,主要起到连接、输送气体的作用。可同时连接阀门、半导体气相沉积设备中转负压腔、半导体气相沉积设备工艺反应腔、真空压力开关等其他部件。连接后通过真空泵（不带有）排除、清空反应腔、负压腔等部件中的废气，为下一道工序做准备。

半导体设备专用管路组件材质为不锈钢，由多个接口、管道组成，专用于半导体气相沉积设备，可同时连接阀门、半导体气相沉积设备中转负压腔、半导体气相沉积设备工艺反应腔、真空压力开关等部件，主要起到连接、输送气体的作用。根据归类总规则一及六，该商品应归入税则号列8486.9099。

上海海关