R-2-2200-2024-0124

84869099

晶圆校准装置

Aligner

品牌：Lam牌；型号：853-A64996-002；用途：适用于Lam牌干法刻蚀机，安装在刻蚀机的前端模块内部；结构：由电机（用于提供动力）、伺服驱动器（用于驱动电机）、电路板（用于处理光电传感器的信号并反馈给外部的控制器）、光电传感器（用于感应晶圆位置）、真空吸盘（用于固定晶圆）、管路、压力传感器、基座、外壳等组成；功能原理：晶圆校准装置通过真空吸盘固定住由外部机械臂搬运至此的晶圆，然后通过光电传感器检测晶圆上的凹口，内部电路板通过接收传感器信号、处理后反馈给外部的控制器（该控制器同时控制晶圆校准装置和机械臂工作），基于设定好的控制逻辑，控制校准装置内的伺服驱动器驱动电机旋转晶圆，使其凹口调整到指定角度位置后，再由外部的机械臂叉走，以保证所有晶圆均以同一个角度位置进行后续工艺；

该晶圆校准装置由电机、伺服驱动器、电路板、光电传感器、真空吸盘、管路、压力传感器、基座、外壳等组成，安装在刻蚀机的前端模块，具体工作原理为真空吸盘固定由外部机械臂搬运至此的晶圆，光电传感器检测晶圆上的凹口，内部电路板接收传感器信号处理后反馈给外部控制器控制伺服驱动器驱动电机旋转晶圆，使其凹口调整到指定角度位置。根据归类总规则一及六，该商品应归入税则号列8486.9099。

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